下载一种有机半导体晶体的多温区化学气相沉积装置的技术资料

文档序号:24136629

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本实用新型公开了一种有机半导体晶体的多温区化学气相沉积装置,包括工作台和垂直移动系统,所述工作台的顶部通过粘接固定有玻璃外套管,所述玻璃外套管的顶端连接有出气金属连接器,所述垂直移动系统的顶端穿过工作台活动连接在玻璃外套管的内部,所述垂直移...
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