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本实用新型公开了一种电弧沉积设备,包括电镀组件,所述电镀组件包括真空室和靶材,所述靶材固定于所述真空室的外表面,还包括消磁组件,所述消磁组件包括磁块、隔磁片和导热板,且所述导热板套设于所述磁块的外表面,所述隔磁片卡接于所述导热板,并位于所述...该专利属于苏州虎伏新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州虎伏新材料科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种电弧沉积设备,包括电镀组件,所述电镀组件包括真空室和靶材,所述靶材固定于所述真空室的外表面,还包括消磁组件,所述消磁组件包括磁块、隔磁片和导热板,且所述导热板套设于所述磁块的外表面,所述隔磁片卡接于所述导热板,并位于所述...