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本实用新型公开了一种ITO旋转靶绑定设备，包括背管内加热装置、升降平台和工装定位装置，背管内加热装置固定于地面，升降平台滑动安装于背管内加热装置的一侧，背管内加热装置包括加热管和底座，底座固定于地面，加热管竖直安装于底座；工装定位装置包括工...
该专利属于东莞市欧莱溅射靶材有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市欧莱溅射靶材有限公司授权不得商用。

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