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本实用新型涉及半导体材料研磨废水污泥处理系统，包括污泥废水池、压滤机、位于压滤机正下方的清水槽、清水池，污泥废水池的池底处设置有排污孔，污泥废水池和压滤机之间设置有第一阀门、水泵、单向阀、三通调节阀，三通调节阀包括输入接口、第一输出接口、第...
该专利属于北京亦盛精密半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京亦盛精密半导体有限公司授权不得商用。

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