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用于MOCVD设备的吊装治具及吊装系统技术方案
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下载用于MOCVD设备的吊装治具及吊装系统的技术资料
文档序号:24135317
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本实用新型涉及的一种用于MOCVD设备的吊装治具及吊装系统,所述吊装治具包括:下横梁;吊臂,所述吊臂一端与所述下横梁连接而另一端可与设备加热基板固定连接;与所述下横梁固定连接的吊环,所述吊环与所述吊臂相背设置。通过上述设置,可解决目前MOC...
该专利属于聚灿光电科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过聚灿光电科技股份有限公司授权不得商用。
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