用于MOCVD设备的吊装治具及吊装系统技术方案

本实用新型专利技术涉及的一种用于MOCVD设备的吊装治具及吊装系统，所述吊装治具包括：下横梁；吊臂，所述吊臂一端与所述下横梁连接而另一端可与设备加热基板固定连接；与所述下横梁固定连接的吊环，所述吊环与所述吊臂相背设置。通过上述设置，可解决目前MOCVD设备中的加热基板需要人工搬运以进行维护的问题。

Hoisting fixture and hoisting system for MOCVD equipment

【技术实现步骤摘要】
用于MOCVD设备的吊装治具及吊装系统
本专利技术涉及气相沉积领域，尤其涉及一种用于MOCVD设备的吊装治具及吊装系统。
技术介绍
目前，在MOCVD设备使用与维护领域，一般采用人力搬运MOCVD设备中的加热基板。随着单体设备产能的不断提升，MOCVD设备中的机台等硬件集成度越来越高，其结构尺寸和重量也逐步变大，人工搬运加热基板需要多人配合，搬运极不方便，且由于人为力量不均衡，机台设备由于受力不均易导致磕碰损坏或形变。因此，需要设计一种机械结构取缔人工操作，以方便设备维护与使用。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种用于MOCVD设备的吊装治具及吊装系统，以解决目前MOCVD设备中的加热基板需要人工搬运以进行维护的问题。为了实现上述专利技术目的之一，本专利技术一实施方式提供一种用于MOCVD设备的吊装治具，包括：下横梁；吊臂，所述吊臂一端与所述下横梁连接而另一端可与设备加热基板固定连接；与所述下横梁固定连接的吊环，所述吊环与所述吊臂相背设置。作为本专利技术一实施方式的进一步改进，所述吊臂本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于MOCVD设备的吊装治具，其特征在于，包括：/n下横梁；/n吊臂，所述吊臂一端与所述下横梁连接而另一端可与设备加热基板固定连接；/n与所述下横梁固定连接的吊环，所述吊环与所述吊臂相背设置。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于MOCVD设备的吊装治具，其特征在于，包括：
下横梁；
吊臂，所述吊臂一端与所述下横梁连接而另一端可与设备加热基板固定连接；
与所述下横梁固定连接的吊环，所述吊环与所述吊臂相背设置。


2.根据权利要求1所述的用于MOCVD设备的吊装治具，其特征在于，所述吊臂沿着所述下横梁的中心对称分布，且所述吊环设于所述下横梁的中心位置。


3.根据权利要求1所述的用于MOCVD设备的吊装治具，其特征在于，所述吊装治具还包括与所述吊环连接的上横梁，所述上横梁上设有用于与设备上盖固定连接的固定臂，且所述固定臂与所述吊环相背设置。


4.根据权利要求3所述的用于MOCVD设备的吊装治具，其特征在于，
所述上横梁上设有两端安装于上横梁相对侧壁中心位置处的卡销，所述卡销与所述吊环相互销连接且所述吊环位于所述卡销的中点位置；
所述固定臂沿着所述上横梁的中心对称分布且顶端可与所述设备上盖固定连接。


5.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚志伟，蒲健，陈军，李本功，
申请(专利权)人：聚灿光电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32