温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

提供一种激光照射装置、投影遮罩及激光照射方法，透过降低对通道区域所照射的激光的特性的偏差，而降低所形成的多晶硅薄膜的变异，以便能够抑制基板之中所包含的多个的薄膜晶体管的特性的变异。本发明的一实施形态之中的激光照射装置是具备产生激光的光源、投...
该专利属于株式会社V技术所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社V技术授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。