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一种检查设备，包括：被配置为从具有正衍射级辐射和负衍射级辐射的量测目标接收衍射辐射的物镜；被配置为将衍射辐射分离成分别与多个不同值或类型的一个或多个辐射特性中的每个辐射特性相对应并且分别与正衍射级和负衍射级相对应的部分的光学元件；以及被配置...该专利属于ASML控股股份有限公司;ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML控股股份有限公司;ASML荷兰有限公司授权不得商用。