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本发明涉及一种MEMS微型扬声器、MEMS微型扬声器的制备方法及电子设备。一种MEMS微型扬声器，所述MEMS微型扬声器包括支撑结构以及设置于所述支撑结构上的压电振膜，所述支撑结构上开设有背腔以裸露部分所述压电振膜；其中，所述压电振膜包括与...
该专利属于共达电声股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过共达电声股份有限公司授权不得商用。

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