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提供一种在半导体装置的制造过程中能防止半导体晶片在输送时或保管时的化学污染、同是根据需要能进行局部的空调管理的净化室。由空调机２取入的进行了温度、湿度控制的空气通过天花板过滤器８被供给作业区４，在通过格栅１０被吸引的净化室１中，将风扇过滤装...
该专利属于三菱电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三菱电机株式会社授权不得商用。

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