下载一种面发射激光器阵列的技术资料

文档序号:24128496

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本发明公开了一种面发射激光器阵列,其包括位于同一芯片上的若干个激光器单管,所述激光器单管纵向设置,且相邻的激光器单管错位排布用于实现向各个激光器单管光束输出区中有源层的载流子侧向注入;且在所述激光器单管的光束输出区设置有浅刻蚀槽,在DBR区...
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