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包括端部分比线性部分更宽的栅极结构的半导体器件制造技术
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下载包括端部分比线性部分更宽的栅极结构的半导体器件的技术资料
文档序号:24127419
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半导体器件可包括在衬底上主要在第一方向上延伸的有源区域。栅极结构可被设置为与有源区域交叉,并且主要在与第一方向交叉的第二方向上延伸。栅极隔离图案可接触栅极结构的一端。栅极结构可包括多个部分,该多个部分各自在第一方向上具有不同的宽度,并且栅极...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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