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本申请公开了一种液体收集装置、显影/刻蚀机台和显影/刻蚀方法，该液体收集装置包括：收集槽；第一环形遮挡件和第二环形遮挡件，设置于收集槽中，且第二环形遮挡件间隔套设于第一环形遮挡件的外围，以将收集槽分割为内腔室、中间腔室和外腔室；内腔室用于容...
该专利属于厦门通富微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过厦门通富微电子有限公司授权不得商用。

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