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本实用新型公开了一种带有集成控制系统的靶材六罐反应釜，包括电控柜及集成控制系统，集成控制系统设置有三相电源输入端口，三相电源输入端口并联有主控电路、搅拌驱动电路、排水驱动电路和加热驱动电路，主控电路包括人机输入界面和PLC控制器，PLC控制...
该专利属于东莞市欧莱溅射靶材有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市欧莱溅射靶材有限公司授权不得商用。

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