下载基于半导体制冷的多级精密快速温度反馈控制系统的技术资料

文档序号:24119511

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本发明公开了基于半导体制冷的多级精密快速温度反馈控制系统,以解决对环境局部区域的温度场的温度及温度梯度实现高精度控制的问题,本发明采用PID控制,研制了一种可满足高精度、快速的温度反馈控制系统所述系统包括:控制器、半导体致冷器及其驱动电路、...
该专利属于中国工程物理研究院机械制造工艺研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院机械制造工艺研究所授权不得商用。

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