温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种高过载保护的真空微电子压力传感器，包括阴极弹性膜层、阳极弹性膜层和绝缘层，所述阴极弹性膜层带过载保护环，在阴极弹性膜层内设有真空微腔和硅微场致发射阴极锥尖阵列，其过载保护环与硅微场致发射阴极锥尖阵列一体化三维集成，在每个锥尖...
该专利属于四川中坚环境监测服务有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川中坚环境监测服务有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。