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本发明涉及一种电子束聚焦位偏移测试装置，包括电子束引出系统、聚焦系统、波纹管组件以及扫描系统，所述电子束引出系统通过支撑管与聚焦系统连接，所述聚焦系统通过四通组件与波纹管组件连接，所述扫描系统位于波纹管组件底端；还包括测量装置；所述四通组件...
该专利属于江苏久瑞高能电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏久瑞高能电子有限公司授权不得商用。

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