【技术实现步骤摘要】
一种电子束聚焦位偏移测试装置
本专利技术涉及电子加速器相关领域，具体涉及一种电子束聚焦位偏移测试装置。
技术介绍
由于低能电子束设备存在能量低，电子束束功率大的特点，电子束在产生、加速及传输过程中受空间磁场、空间电场、空间电荷效应等诸多因素影响，其轨迹容易产生偏移，致使设备损坏，辐照均匀性波动、横向辐照宽度变化等诸多影响。目前低能电子束设备为了防止电子束偏移，一般采用外部增加磁屏蔽装置、改善加速管引出结构等方式，但是由于突发情况(真空突变、加速管层间放电、高压电源输入纹波影响、聚焦电源及磁铁故障等)引发的偏移则无法有效避免。
技术实现思路
本专利技术的目的是：提供一种电子束聚焦位偏移测试装置，对电子束束斑位进行在线实时检测，并且可在发生偏移时进行纠正，形成反馈机制，避免电子束偏移打在真空管道上，因此可保证产品辐照的均匀性和横向宽度，且可避免造成设备严重损坏以及由于电子束偏移打在真空管道外壁上后产生的X射线。为了实现上述目的，本专利技术提供如下的技术方案：一种电子束聚焦位偏移测试装置...
【技术保护点】
1.一种电子束聚焦位偏移测试装置，包括电子束引出系统(1)、聚焦系统(2)、波纹管组件(4)以及扫描系统(5)，所述电子束引出系统(1)通过支撑管(7)与聚焦系统(2)连接，所述聚焦系统(2)通过四通组件(8)与波纹管组件(4)连接，所述扫描系统(5)位于波纹管组件(4)底端；其特征在于：还包括测量装置(6)；所述四通组件(8)的法兰与波纹管组件(4)的法兰之间设置有光缆组件(3)，所述测量装置(6)接地并且与光缆组件(3)电性连接，所述光缆组件(3)包括法兰焊接组件(31)。/n
【技术特征摘要】
1.一种电子束聚焦位偏移测试装置，包括电子束引出系统(1)、聚焦系统(2)、波纹管组件(4)以及扫描系统(5)，所述电子束引出系统(1)通过支撑管(7)与聚焦系统(2)连接，所述聚焦系统(2)通过四通组件(8)与波纹管组件(4)连接，所述扫描系统(5)位于波纹管组件(4)底端；其特征在于：还包括测量装置(6)；所述四通组件(8)的法兰与波纹管组件(4)的法兰之间设置有光缆组件(3)，所述测量装置(6)接地并且与光缆组件(3)电性连接，所述光缆组件(3)包括法兰焊接组件(31)。
2.根据权利要求1所述的一种电子束聚焦位偏移测试装置，其特征在于：所述光缆组件(3)还包括合金垫圈(32)和绝缘片(33)；所述法兰焊接组件(31)的上端面依次通过合金垫圈(32)和绝缘片(33)与四通组件(8)的法兰连接，所述法兰焊接组件(31)的下端面依次通过合金垫圈(32)和绝缘片(33)与波纹管组件(4)的法兰连接。
3.根据权利要求2所述的一种电子束聚焦位偏移测试装置，其特征在于：所述法兰焊接组件(31)包括...
【专利技术属性】
技术研发人员：程永波，黄伟，曹娟，
申请(专利权)人：江苏久瑞高能电子有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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