下载含β-桉叶醇结构的锍鎓盐类光致产酸剂及其制备方法的技术资料

文档序号:24110567

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本发明涉及光刻胶技术领域,具体公开了一种含β‑桉叶醇结构的锍鎓盐类光致产酸剂及其制备方法,所述光致产酸剂包括阴离子和阳离子,所述阴离子与所述阳离子分别具有如下结构:...
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