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一种旋转放置平台机构制造技术
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文档序号:24109864
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本发明公开了一种旋转放置平台机构,用于晶圆片测试,包括固定底座;旋转底座,所述旋转底座转动安装在固定底座上,所述旋转底座至少包括一个用于测试时的竖直状态;其中,所述旋转底座的一端设有抱持机构,用于抱持住被测片;所述旋转底座上转动设有自转平台...
该专利属于嘉兴百盛光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过嘉兴百盛光电有限公司授权不得商用。
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