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本发明的目的是提供一种MEMS同轴滤波器和制作方法。根据本发明的一个方面，提供了一种MEMS同轴滤波器，其特征在于，所述MEMS同轴滤波器包括：两面抛光的结构层圆片；由金属壁或金属化通孔实现电壁的硅介质腔体；由金属化盲孔实现的内部同轴结构。...
该专利属于上海诺基亚贝尔股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海诺基亚贝尔股份有限公司授权不得商用。

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