一种MEMS同轴滤波器和制作方法技术

本发明专利技术的目的是提供一种MEMS同轴滤波器和制作方法。根据本发明专利技术的一个方面，提供了一种MEMS同轴滤波器，其特征在于，所述MEMS同轴滤波器包括：两面抛光的结构层圆片；由金属壁或金属化通孔实现电壁的硅介质腔体；由金属化盲孔实现的内部同轴结构。本发明专利技术具有以下优点：通过利用MEMS技术在硅片上制作同轴滤波器，结合了MEMS技术、同轴谐振器结构和SIW技术的优势，相较于现有的金属波导滤波器或SIW滤波器，根据本发明专利技术的实施例的MEMS同轴滤波器极大地减小了毫米波滤波器的尺寸并降低了成本，并且具有较高的加工精度，简化了毫米波滤波器的生产时间和成本。

A MEMS coaxial filter and its fabrication method

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】一种MEMS同轴滤波器和制作方法
本专利技术涉及通信
，尤其涉及一种MEMS同轴滤波器和制作方法。
技术介绍
微机电系统(Micro Electro Mechanical System，MEMS)以半导体制造技术为基础，具有较高的加工精度，能够完全满足毫米波滤波器的加工精度要求。但由于MEMS滤波器成本高，阻碍了其推广。由于一个晶片的成本是一定的，因此滤波器越小，可以在一个晶片中生产的滤波器越多，且滤波器的成本越低。这意味着微型化对毫米波MEMS滤波器的商业和实际应用非常重要。基片集成波导(Substrate Integrated Waveguide，SIW)是多年来最有前景的毫米波滤波器。但其一个致命的缺点是，第一谐波非常接近工作频率，大约是工作频率的1.58倍。并且该谐波这几乎不能被抑制。同时，SIW滤波器的尺寸对于一个晶片来说仍然太大，这违背了MEMS滤波器的微型化。现有的毫米波滤波器主要为以下三种：1)金属波导滤波器；现有的毫米波滤波器大多是金属波导滤波器，体积大，重量重。据估算，金属波导滤波器的在28Gh本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种MEMS同轴滤波器，其特征在于，所述MEMS同轴滤波器包括：/n两面抛光的结构层圆片；/n由金属壁或金属化通孔实现电壁的硅介质腔体；/n由金属化盲孔实现的内部同轴结构。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】一种MEMS同轴滤波器，其特征在于，所述MEMS同轴滤波器包括：
两面抛光的结构层圆片；
由金属壁或金属化通孔实现电壁的硅介质腔体；
由金属化盲孔实现的内部同轴结构。


根据权利要求1所述的MEMS同轴滤波器，其特征在于：所述MEMS同轴滤波器采用SIW谐振器结构，在SIW谐振器结构中心刻蚀盲孔，所述结构层圆片为SOI片。


根据权利要求1所述的MEMS同轴滤波器，其特征在于：所述结构层圆片为高阻硅片，所述MEMS同轴滤波器还包括承载片，所述高阻硅片和承载片以圆片级键合的方式键合在一起。


根据权利要求1所述的MEMS同轴滤波器，其特征在于，所述结构层圆片为SOI片，所述MEMS同轴滤波器还包括承载片，所述SOI片和承载片以圆片级键合的方式键合在一起。


根据权利要求1至4中任一项所述的MEMS同轴滤波器，其特征在于，在所述结构层圆片的正面具有哑铃形状的金属图案，所述金属图案位于两个谐振腔之间，用于产生电耦合；
其中，在电耦合金属图案下方，所述结构层圆片的背面，在金属化盲孔刻蚀步骤同时刻蚀孔或槽，以抑制两个谐振腔之间的磁耦合。


根据权利要求1至5中任一项所述的MEMS同轴滤波器，其特征在于，所述MEMS同轴滤波器的谐振频率基于以下任一种方式进行调节：
-改变硅介质腔体的大小；
-改变金属化盲孔的直径大小。

【专利技术属性】
技术研发人员：梅迪，朱其玉，
申请(专利权)人：上海诺基亚贝尔股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31