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具有中间配线层的三维闪存器件及其制造方法技术
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文档序号:24105816
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本发明公开具有中间漏极的三维闪存器件及其制造方法。根据一实施例,三维闪存器件包括:串接体,包括沟道层及多个电极层,上述沟道层沿着一方向延伸形成,上述多个电极层对于上述沟道层垂直层叠;上部配线层,配置于至少一个上述串接体的上部;至少一个中间配...
该专利属于汉阳大学校产学协力团所有,仅供学习研究参考,未经过汉阳大学校产学协力团授权不得商用。
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