下载曝光用照明装置、曝光装置以及曝光方法的技术资料

文档序号:24105622

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积分器部(90)具备2枚复眼透镜(91、92),复眼透镜间隔调整机构(95)变更2枚复眼透镜(91、92)在光轴方向上的间隔(d)。根据由反射镜弯曲机构(70)实现的平面反射镜(68)的反射面的形状变更,来变更2枚复眼透镜(91、92)在光...
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