下载一种应用于内层板芯曝光的对位结构的技术资料

文档序号:24102913

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本实用新型公开的一种应用于内层板芯曝光的对位结构,包括依次叠合的底层底片、内层板芯以及顶层底片,底层底片与顶层底片的边缘上分别设置有多个第一靶标以及多个第二靶标,第一靶标与第二靶标均包括环形主体以及均匀设置于环形主体外侧的四个方位柱体;底层...
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