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本发明公开了一种基于柔性衬底的柔性压控振荡器及制作方法，以进行硅纳米膜的转移的PET塑料衬底为模板，所述模板上设置有磁控溅射形成栅的介质层和电感介质层，以及设置有金属蒸发形成的电容电感电阻以及二极管金属层和输入输出端；包括三个电容即第一电容...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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