【技术实现步骤摘要】
一种基于柔性衬底的柔性压控振荡器及制作方法
本专利技术属于柔性射频电路设计领域，具体涉及到柔性衬底上的基于硅纳米膜转移技术的柔性压控振荡器的设计与制备方法。
技术介绍
柔性电子是将有机、无机材料电子器件制作在柔性、可延性塑料或薄金属基板上的新兴电子科技，在信息、能源、医疗、国防等领域都具有广泛应用。如印刷RFID、电子用表面粘贴、有机发光二极管OLED、柔性电子显示器等。本专利技术采用一种新型工艺，通过ADS仿真得到柔性压控振荡器的关键参数设计，随后绘制掩膜版采用新型柔性电子制备工艺，通过硅纳米膜转移技术在柔性衬底上制备射频集成电路重要模块—压控振荡器，将来有望在可穿戴电子，大规模柔性集成电路等方面取得广泛应用。
技术实现思路
以柔性衬底上的硅纳米膜转移技术与逻辑反相器的制备与工艺为基础，本专利技术的目的在于提出一种基于柔性衬底的柔性压控振荡器及制作方法，在PET塑料衬底上制备振荡器，实现射频集成电路振荡器的弯曲态工作特性，实现了一种全新的柔性射频电路组成单元柔性压控振荡器的设计与其制备工艺方法的实现。<...
【技术保护点】
1.一种基于柔性衬底的柔性压控振荡器，其特征在于，该电路包括三个电容即第一电容C1、第二电容C2和第三电容C3、三个电感第一电感L1、第二电感L2和第三电感L3、四个电阻即第一电阻R1、第二电阻R2、第三电阻R3和第四电阻R4，一个二极管D、一个晶体管TFT和三个信号源即第一信号源SRC1、第一信号源SRC2和第三信号源SRC3，以及若干金属互联线；其中，/n第一信号源SRC1与第四电感L4、二极管D串联后、与第三电容C3并联构成可变电容器；第一电阻R与第一电感L1、第二信号源SRC2依次串联构成配置电路第一支路；晶体管TFT与第二电感L2串联构成配置电路第二支路；第二电阻...
【技术特征摘要】
1.一种基于柔性衬底的柔性压控振荡器，其特征在于，该电路包括三个电容即第一电容C1、第二电容C2和第三电容C3、三个电感第一电感L1、第二电感L2和第三电感L3、四个电阻即第一电阻R1、第二电阻R2、第三电阻R3和第四电阻R4，一个二极管D、一个晶体管TFT和三个信号源即第一信号源SRC1、第一信号源SRC2和第三信号源SRC3，以及若干金属互联线；其中，
第一信号源SRC1与第四电感L4、二极管D串联后、与第三电容C3并联构成可变电容器；第一电阻R与第一电感L1、第二信号源SRC2依次串联构成配置电路第一支路；晶体管TFT与第二电感L2串联构成配置电路第二支路；第二电阻R2、第三电感L3、第二信号源SRC3依次串联构成配置电路第三支路，所述第四电阻R4构成配置电路第四支路，所述可变电容器与所述配置电路第一支路之间串联作为滤波电容的第一电容C1，所述配置电路第一支路和所述配置电路第二支路之间串联电阻R3，所述配置电路第二支路和所述配置电路第三支路之间串联作为滤波电容的第二电容C2，即第一电阻R1、第二电阻R2、第四电阻R4、第一电感L1、第二电感L2、第三电感L3、第二信号源SRC2、第二信号源SRC3、晶体管TFT构成压控振荡器的偏置电路。
2.如权利要求1所述的一种基于柔性衬底的柔性压控振荡器，其特征在于，该柔性压控振荡器以进行硅纳米膜的转移的PET塑料衬底为模板，所述模板上设置有磁控溅射形成栅的介质层和电感介质层，以及设置有金属蒸发形成的电容电感电阻以及二极管金属层和输入输出端。
3.一种基于柔性衬底的柔性压控振荡器制作方法，其特征在于，所述制作方法包括以下步骤：
步骤一、首先在ADS仿真软件中设计出柔性压控振荡器，采用偏置电路与可变电容结合的互连设计，通过调节需要传输的输入电压实...
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