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一种晶圆级封装芯片及方法技术
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文档序号:24098833
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本发明涉及晶圆级封装技术领域,涉及一种晶圆级封装芯片及方法。通过基底进行减薄处理,TSV孔里的金属和硅基底的背金连接在一起,可实现小尺寸超薄芯片的晶圆级封装,同时满足散热要求;缩减接地线路的封装电阻,降低电感效应,提升芯片性能,减少接地焊垫...
该专利属于苏州科阳光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州科阳光电科技有限公司授权不得商用。
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