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本发明提供一种Micro LED的转移方法,包括:提供阵列基板,阵列基板一侧设置有粘结层,阵列基板的像素区包括多个薄膜晶体管;将转移板转移至阵列基板上方,转移板靠近粘结层的一侧设置有层叠的缓冲层和芯片层,芯片层包括阵列分布的多个Micro ...该专利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种Micro LED的转移方法,包括:提供阵列基板,阵列基板一侧设置有粘结层,阵列基板的像素区包括多个薄膜晶体管;将转移板转移至阵列基板上方,转移板靠近粘结层的一侧设置有层叠的缓冲层和芯片层,芯片层包括阵列分布的多个Micro ...