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本发明涉及集成电路生产设备技术领域，且公开了一种用于晶圆装载的载具及载具夹持装置，包括装载晶圆的晶圆载具、可相对移动的第一夹板和第二夹板，所述第一夹板和第二夹板安装在机械手的驱动结构上。该用于晶圆装载的载具及载具夹持装置，非夹持状态时控制囊...
该专利属于许正根所有，仅供学习研究参考，未经过许正根授权不得商用。

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