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本申请提出了一种蚀刻装置，包括：蚀刻腔室以及抽气系统。蚀刻腔室包括上部电极、下部电极以及环绕下部电极设置的导风构件。抽气系统包括至少一抽气口，所述抽气口位于所述导风板远离所述蚀刻腔室的一侧。导风构件包括至少一导风板，导风板包括多个导风孔。导...
该专利属于TCL华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过TCL华星光电技术有限公司授权不得商用。

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