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本发明提供一种检测缺陷的设计方法，在版图的每个shot中选定testkey区域；按照需要检测的层将testkey区域划分为m*n的矩阵单元，其中m为层数；在每个单元中设置多组缺陷分布，每个单元中的多组缺陷分布依照m*n矩阵的列依次错位排布；...
该专利属于华虹半导体(无锡)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华虹半导体(无锡)有限公司授权不得商用。

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