下载一种多晶湿法黑硅清洗工艺的技术资料

文档序号:24098363

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本发明公开了一种多晶湿法黑硅清洗工艺,包括在氨水脱银前,加个碱处理槽进行碱液清洗处理,不仅能快速去除表面多孔硅等烂结构,同时可以使挖孔产生的小孔的孔径更加的平整光滑,从而有利于后续两步氨水充分与银离子进行络合反应,增强脱银效果,减少表面金属...
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