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本发明公开了种离子束水平与垂直角度测量装置，包括真空腔体，离子束流在其中传输；水平与垂直角度法拉第测量杯，用于测量离子束流相对于法拉第杯体入射面法线在水平面和垂直面的倾斜角度；水平角度测量驱动电机通过联轴器直接驱动四连杆机构，每个杯体与连杆...
该专利属于北京中科信电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科信电子装备有限公司授权不得商用。

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