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本发明公开了一种电导率传感器，在衬底中设置有沿厚度方向贯穿衬底的通孔，该通孔会被设置在衬底表面的四个电极中的一个所覆盖，同时在该通孔中会设置有与电极电连接的引线。通过该通孔以及引线可以沿衬底厚度方向引出电极的电信号，从而避免引线与电极处于同...
该专利属于中科院微电子研究所昆山分所所有，仅供学习研究参考，未经过中科院微电子研究所昆山分所授权不得商用。

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