【技术实现步骤摘要】
一种电导率传感器及其制备方法
本专利技术涉及电导率传感器
，特别是涉及一种电导率传感器及其制备方法。
技术介绍
盐度、温度、深度(CTD)是海洋观测中最基本的测量参数。海洋中的各种现象、过程，海洋生物的生存与繁殖，以及人类的海上活动，包括海上军事活动，几乎都与海水盐度和温度的时空分布直接或间接相关。在现阶段，通常使用电导率传感器来测量海水的盐度。对于四电极式的电导率传感器而言，要求四电极式电导率传感器中的环形电极尽可能完整，从而避免测量时电压电极的等势面出现奇异点。但是在现有技术中，对于四电极式的电导率传感器而言，通常均需要在环形电极中设置缺口，以便设置在该环形电极内部的电极可以从该缺口处设置引线以与其他部件电连接。但是上述缺口的设置会破坏环形电极的完整性，从而在测量时电压电极的等势面会出现奇异点，进而会导致电极上任何细微变化如污染都会引起测量信号大幅偏移，影响测量的稳定性。所以如何提供一种具有完整环形电极的四电极式电导率传感器时本领域技术人员急需解决的问题。
技术实现思路
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【技术保护点】
1.一种电导率传感器，其特征在于，包括衬底、至少四个沿所述衬底厚度方向贯穿所述衬底的通孔、位于所述通孔内的引线、和位于所述衬底同一表面且相互绝缘的第一电极、第二电极、第三电极以及第四电极；/n所述第二电极、所述第三电极和所述第四电极均呈环形，所述第一电极位于所述第二电极内，所述第二电极位于所述第三电极内，所述第三电极位于所述第四电极内；/n任一所述通孔朝向所述第一电极一侧的开口被所述第一电极或所述第二电极或所述第三电极或所述第四电极所覆盖；所述第一电极、所述第二电极、所述第三电极和所述第四电极均与至少一条所述引线电连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种电导率传感器，其特征在于，包括衬底、至少四个沿所述衬底厚度方向贯穿所述衬底的通孔、位于所述通孔内的引线、和位于所述衬底同一表面且相互绝缘的第一电极、第二电极、第三电极以及第四电极；
所述第二电极、所述第三电极和所述第四电极均呈环形，所述第一电极位于所述第二电极内，所述第二电极位于所述第三电极内，所述第三电极位于所述第四电极内；
任一所述通孔朝向所述第一电极一侧的开口被所述第一电极或所述第二电极或所述第三电极或所述第四电极所覆盖；所述第一电极、所述第二电极、所述第三电极和所述第四电极均与至少一条所述引线电连接。
2.根据权利要求1所述的电导率传感器，其特征在于，所述第一电极呈圆形；所述第二电极、所述第三电极和所述第四电极均呈圆环形。
3.根据权利要求2所述的电导率传感器，其特征在于，所述第一电极、所述第二电极、所述第三电极和所述第四电极具有同一圆心。
4.根据权利要求3所述的电导率传感器，其特征在于，所述第一电极的半径的取值范围为200μm至600μm，包括端点值；所述第二电极的内环半径的取值范围为600μm至800μm，包括端点值；所述第二电极的外环半径的取值范围为800μm至1200μm，包括端点值；所述第三电极的内环半径的取值范围为3500μm至3800μm，包括端点值；所述第三电极的外环半径的取值范围为3700μm至4000μm，包括端点值；所述第四电极的内环半径的取值范围为4000μm至4600μm，包括端点值；所述第四电极的外环半径的取值范围为4600μm至5200μm，包括端点值。
5.根据权利要求1所述的电导率传感器，其特征在于，所述引线的一端与所述第一电极、所述第二电极、所述第三电极或所述第四电极相接触；所述引线的另一端延伸至所述衬底中与设置有所述第一电极的表面相对的另一表面。
6.一种电导率传感器的制备方法，其特征在于，包括：
在衬底的任一表面沿所述衬底厚度方向设置至...
【专利技术属性】
技术研发人员：尚海平，曹治，王英辉，王玮冰，
申请(专利权)人：中科院微电子研究所昆山分所，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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