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基于电压时间转换的电容式压力检测装置、方法及传感器制造方法及图纸
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下载基于电压时间转换的电容式压力检测装置、方法及传感器的技术资料
文档序号:24084511
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本发明提供了一种基于电压时间转换的电容式压力检测装置、方法及传感器。所述装置包括:电容组件、与所述电容组件连接的充电控制模块和放电控制模块、与所述放电控制模块和所述电容组件连接的计数模块、以及输出模块;其中,所述电容组件的电容量根据待检测压...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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