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一种热释电/光电双功能集成传感器件制造技术
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文档序号:24084122
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本发明涉及一种热释电/光电双功能集成传感器件。该传感器件为预极化半导体薄膜的热释电/光电双功能集成传感器件,由光电传感阵列和导电接线金属薄膜层组成,该光电传感阵列由光电传感单元以并联的形式组成,该光电传感单元由铁电性半导体薄膜层和透明导电薄...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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