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本申请公开了一种碳化硅高温氧化进料装置，包括支架和位于支架上的高温氧化罐，高温氧化罐的下端安装有出料管，出料管上设有连接外接管路的连接管，连接管上设有第一阀门，高温氧化罐的上端设有送氧箱，送氧箱的上端安装有入料箱支架，入料箱支架上端安装有入...
该专利属于四川矽芯微科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川矽芯微科技有限公司授权不得商用。

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