下载脆性基板的裂缝线形成方法及脆性基板的技术资料

文档序号:24071812

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本发明涉及一种脆性基板的裂缝线形成方法及脆性基板。本发明通过使刀尖(51)滑动而在脆性基板(4)的第1面(SF1)上产生塑性变形,由此形成沟槽线(TL)。沟槽线(TL)的形成以如下方式进行,即,获得在沟槽线(TL)的正下方脆性基板(4)在与...
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