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本发明公开了一种含有臭氧的碱性溶液清洗硅片的方法，所述方法包括如下步骤：先将碱液倒入硅片清洗装置的清洗槽中备用；然后使所述碱液经过与所述清洗槽连接的循环管路流重新流至清洗槽中；其次通过臭氧发生器产生臭氧并在碱液中均匀混合形成臭氧气泡；接着将...
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