下载电极组件及使用该电极组件的等离子体发生装置的技术资料

文档序号:24059339

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本实用新型公开了一种电极组件及使用该电极组件的等离子体发生装置,包括:上电极组和位于上电极组下方的下电极组。其中,上电极组包括上电极板、由上电极板的顶端向该上电极板的周向外侧进行包围的上气流幕绝缘结构,以及由上气流幕绝缘结构的顶端向该上气流...
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