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本实用新型涉及一种低温容性和感性复合耦合射频等离子体反应器，包括反应腔室，反应腔室上设有进气端和出气端；进气端与用于通入反应气体的第二支管连通；反应腔室还与用于通入惰性气体的第一支管连通；出气端设置有抽气装置；反应腔室上相对靠近进气端的外壁...
该专利属于三明学院所有，仅供学习研究参考，未经过三明学院授权不得商用。

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