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本实用新型的一种用于平板式镀膜系统的硅片承载架，包括承载孔和承载框，承载框用以承载硅片，且包括承载水平面、承载垂直面和承载侧面；承载孔的四角均设置有倒角；承载水平面和所述承载侧面的底部通过承载垂直面连接，承载侧面由下往上逐渐向外倾斜，承载水...
该专利属于杭州海莱德智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州海莱德智能科技有限公司授权不得商用。

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