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本实用新型提供一种硅片清洗花篮齿杆,包括齿杆主体及均匀间隔分布在所述齿杆主体上的第一齿柱和第二齿柱;所述第一齿柱与所述第二齿柱在所述齿杆主体轴向投影构成半椭圆形或抛物线;所述齿杆主体两端设有连接部,用于连接所述齿杆主体与硅片清洗花篮。硅片插...该专利属于常州市杰洋精密机械有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过常州市杰洋精密机械有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供一种硅片清洗花篮齿杆,包括齿杆主体及均匀间隔分布在所述齿杆主体上的第一齿柱和第二齿柱;所述第一齿柱与所述第二齿柱在所述齿杆主体轴向投影构成半椭圆形或抛物线;所述齿杆主体两端设有连接部,用于连接所述齿杆主体与硅片清洗花篮。硅片插...