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本实用新型公开了一种晶圆的湿处理系统，晶圆的湿处理系统包括：喷淋头，设置有至少一个喷洒孔，用于喷洒待喷洒液；真空吸盘，位于所述喷淋头的下方，所述真空吸盘包括有承载吸板和壳体，所述壳体和承载吸板构成所述真空吸盘的腔体，所述承载吸板还设有贯通所...
该专利属于深圳市思坦科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市思坦科技有限公司授权不得商用。

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