下载一种硅片粘性测试装置的技术资料

文档序号:24057265

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本实用新型属于半导体制造技术领域,具体涉及一种硅片粘性测试装置。包括托盘、紧固机构和若干固定机构,固定机构设置在托盘任一面,固定机构用于将待测试硅片固定在托盘上,紧固机构设置在托盘另一面,紧固机构用于将托盘紧固在测试用的行星锅上。用于解决硅...
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