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本实用新型公开了一种氦质谱检漏仪气路集成模块装置，包括呈块状的气路集成模块，所述气路集成模块固定安装在分子泵上；所述气路集成模块内设有若干气孔，若干所述气孔分别与分子泵排气口、前级泵以及真空规管连接，其中，连接真空规管的气孔与连接前级泵的气...
该专利属于安徽皖仪科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽皖仪科技股份有限公司授权不得商用。

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