一种氦质谱检漏仪气路集成模块装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种氦质谱检漏仪气路集成模块装置，包括呈块状的气路集成模块，所述气路集成模块固定安装在分子泵上；所述气路集成模块内设有若干气孔，若干所述气孔分别与分子泵排气口、前级泵以及真空规管连接，其中，连接真空规管的气孔与连接前级泵的气孔相通，并且连接真空规管的气孔与连接分子泵排气口的气孔相通；所述气路集成模块内还设有若干检漏气孔，若干检漏气孔一端与检漏口连接，另一端与分子泵的检口连接。本实用新型专利技术简化了仪器内部气路，能将真空系统的气路有效的集成到一个模块上，有利于氦质谱检漏仪的小型化发展，而且该装置结构简单，易于实现，可操作性强。

A gas path integrated module device of helium mass spectrometer leak detector

【技术实现步骤摘要】
一种氦质谱检漏仪气路集成模块装置
本技术涉及一种氦检技术，特别涉及一种氦质谱检漏仪气路集成模块装置。
技术介绍
氦质谱检漏仪是一种常见的分析仪器，在制冷行业、汽车制造行业、电力行业、航天行业、核工业、等有着广泛的应用，是真空检漏技术中应用最普遍的一种检漏仪器。氦质谱检漏仪由质谱分析系统、真空系统、电路控制部分三大部分组成，质谱分析系统由离子源、质谱管、磁铁、接收器组成，真空系统由机械泵、分子泵、真空计组成。电路控制部分由电子线路、电气控制、人机交换界面组成。真空系统采用气路连接各元件真空部件，但目前通常采用真空管路来连接各个元件，占用空间较大，不利于氦质谱检漏仪的小型化。
技术实现思路
为了解决上述现有技术中的不足，本技术的目的在于提供一种氦质谱检漏仪气路集成模块装置，该装置简化了仪器内部气路，能将真空系统的气路有效的集成到一个模块上，有利于氦质谱检漏仪的小型化发展，而且该装置结构简单，易于实现，可操作性强。本技术解决其技术问题所采用的技术方案为：一种氦质谱检漏仪气路集成模块装置，包括呈块状的气路集成模块，所述气路集成模本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氦质谱检漏仪气路集成模块装置，其特征在于，包括呈块状的气路集成模块，所述气路集成模块固定安装在分子泵上；/n所述气路集成模块内设有若干气孔，若干所述气孔分别与分子泵排气口、前级泵以及真空规管连接，其中，连接真空规管的气孔与连接前级泵的气孔相通，并且连接真空规管的气孔与连接分子泵排气口的气孔相通；/n所述气路集成模块内还设有若干检漏气孔，若干检漏气孔一端与检漏口连接，另一端与分子泵的检口连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种氦质谱检漏仪气路集成模块装置，其特征在于，包括呈块状的气路集成模块，所述气路集成模块固定安装在分子泵上；
所述气路集成模块内设有若干气孔，若干所述气孔分别与分子泵排气口、前级泵以及真空规管连接，其中，连接真空规管的气孔与连接前级泵的气孔相通，并且连接真空规管的气孔与连接分子泵排气口的气孔相通；
所述气路集成模块内还设有若干检漏气孔，若干检漏气孔一端与检漏口连接，另一端与分子泵的检口连接。


2.根据权利要求1所述的氦质谱检漏仪气路集成模块装置，其特征在于，与所述分子泵排气口连接的气孔为第一气孔，与所述前级泵连接的气孔为第二气孔，与所述真空规管连接的气孔为第三气孔，其中，所述第二气孔与第三气孔平行设置，并且第二气孔与第三气孔之间通过工艺孔连通。


3.根据权利要求2所述的氦质谱检漏仪气路集成模块装置，其特征在于，所述工艺孔与所述第二气孔和/或第三气孔垂直。


4.根据权利要求3所述的氦质谱检漏仪气路集成模块装置，其特征在于，所述第一气孔与第三气孔连通，所述第一气孔与第三气孔、工艺孔互相垂直。


5.根据权利要求4所述的氦质...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱长平，黄文平，陈然，
申请(专利权)人：安徽皖仪科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34