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本实用新型公开了一种硅差压传感器，其特征在于，包括相邻的高压侧基座、低压侧基座，高压侧基座或低压侧基座上设有陶瓷部件、压力敏感芯片，高压侧基座与压力敏感芯片、高压侧隔离膜片、过载保护膜片等之间构成用于填充高压侧充灌液的高压腔路径，低压侧基座...
该专利属于上海自优仪器仪表有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海自优仪器仪表有限公司授权不得商用。

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